精度逼近 卻難量產中國曝光機羲之,
2025-08-31 04:54:36 代妈公司
無法取得最先進的中國之精 EUV 機台,「羲之」定位精度可達 0.6 奈米,曝光中國正積極尋找本土化解方。機羲近並透過多重圖案化技術(multiple patterning)推進製程
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- China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production
(首圖來源:中國杭州人民政府)
延伸閱讀:
- 中媒:中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」
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