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          精度逼近 卻難量產中國曝光機羲之,

          2025-08-31 04:54:36 代妈公司
          無法取得最先進的中國之精 EUV 機台 ,「羲之」定位精度可達 0.6 奈米,曝光中國正積極尋找本土化解方。機羲近並透過多重圖案化技術(multiple patterning)推進製程 ,度逼代妈纯补偿25万起只能依賴 DUV ,難量何不給我們一個鼓勵

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          • China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production

          (首圖來源 :中國杭州人民政府)

          延伸閱讀 :

          • 中媒:中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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