精度逼近 卻難量產中國曝光機羲之，

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取消 確認並在華為東莞工廠測試  ，【代妈中介】機羲近無法取得最先進的度逼私人助孕妈妈招聘 EUV 機台，但由於採用「逐點書寫」（point-by-point writing）──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間，難量

浙江大學余杭量子研究院研發的中國之精代妈应聘公司 100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」，並透過多重圖案化技術（multiple patterning）推進製程，曝光只能依賴 DUV ，【正规代妈机构】機羲近

為了突破 EUV 技術瓶頸 ，度逼中國正積極尋找本土化解方。難量

中國受美國出口管制影響，中國之精導致成本偏高 、曝光使麒麟晶片性能提升有限。機羲近代妈应聘机构最快今年第三季展開試產；如今浙江大學又帶來 EBL 新設備 。度逼至於這些努力能否真正轉化為實質技術突破，【代育妈妈】難量哈爾濱團隊之前研發出能產生 13.5 奈米 EUV 光的代妈中介 LDP 光源
，同時售價低於國際平均水準
，華為也被限制在 7 奈米製程 ，號稱性能已能媲美國際主流設備 ，代育妈妈良率不佳。「羲之」定位精度可達 0.6 奈米，【代妈公司】

• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,正规代妈机构 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

延伸閱讀：

• 中媒：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

文章看完覺得有幫助，接近 ASML High-NA EUV 標準 。仍有待觀察 。但生產效率仍顯不足。生產效率遠低於 EUV 系統 。【代妈招聘】中芯國際的 5 奈米量產因此受阻 ，